產(chǎn)品目錄 / Product catalog
當(dāng)您在使用RTP快速退火爐時(shí)，這些事項(xiàng)必須時(shí)刻注意！
更新時(shí)間：2022-07-20 點(diǎn)擊次數(shù)：3168
RTP快速退火爐主要適用于不銹鋼拉深件如水暖器材、水脹件、銷(xiāo)、醫(yī)療器械、不銹鋼釘、不銹鋼鏍絲、壓鉚件、不銹鋼軸承、表殼、表帶、刀具、微型軸、自攻自鉆、餐具等不銹鋼制品在保護(hù)氣氛控制下進(jìn)行連續(xù)光亮退火、固溶、退磁及不銹鋼淬火處理的多用爐。處理后產(chǎn)品表面光潔，不氧化，不脫碳。具有生產(chǎn)效率高，能耗低，污染少，操作使用方便，勞動(dòng)強(qiáng)度低等優(yōu)點(diǎn).也可供金屬材料釬焊，燒結(jié)之用。系引進(jìn)消化國(guó)外90年初產(chǎn)品。
RTP快速退火爐技術(shù)特點(diǎn)：
RTP快速退火爐廣泛應(yīng)用在IC晶圓、LED晶圓、MEMS、化合物半導(dǎo)體和功率器件等多種芯片產(chǎn)品的生產(chǎn)。和歐姆接觸快速合金、離子注入退火、氧化物生長(zhǎng)、消除應(yīng)力和致密化等工藝當(dāng)中，通過(guò)快速熱處理以改善晶體結(jié)構(gòu)和光電性能，具有技術(shù)指標(biāo)高、工藝復(fù)雜、性強(qiáng)的特點(diǎn)。
快速退火爐的使用注意事項(xiàng)：
1.爐子使用或長(zhǎng)時(shí)間不用后，要在120℃左右烘烤1小時(shí)，在300℃左右烘烤2小時(shí)后使用，以免造成爐膛開(kāi)裂。爐溫盡量不要超過(guò)額定溫度，以免損壞加熱元件及爐襯。禁止向爐膛內(nèi)直接灌注各種液體及溶解金屬，保持爐內(nèi)的清潔。
2.爐膛若采用石英管，當(dāng)溫度高于1000℃時(shí)，石英管的高溫部分會(huì)出現(xiàn)不透明現(xiàn)象，這叫失透(又叫析晶性)是連熔石英管的一個(gè)固有缺陷，屬正常現(xiàn)象。
3.冷爐使用時(shí)，由于爐膛是冷的，須大量吸熱，所以低溫段升溫速率不易過(guò)快，各溫度段的升溫速率差別不易太大，設(shè)置升溫速率時(shí)應(yīng)充分考慮所燒結(jié)材料的物理化學(xué)性質(zhì)，以免出現(xiàn)噴料現(xiàn)象，污染爐管。
4.定期檢查溫度控制系統(tǒng)的電器連接部分的接觸是否良好，應(yīng)特別注意加熱元件的各連接點(diǎn)的連接是否緊固。
5.爐子使用過(guò)一段時(shí)間后，若真空度降低，可分別更換不銹鋼法蘭盤(pán)之間的耐溫硅膠圈或重新安裝不銹鋼法蘭盤(pán)或更換修理真空系統(tǒng)，以提高系統(tǒng)的整體真空度。
6.爐子在工作過(guò)程中，一般在300℃左右若控制偏差還不能消除，出現(xiàn)溫度顯示值與程序給定值不符或擺動(dòng)過(guò)大，檢查參數(shù)“M5、P、t”設(shè)置是否。
